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當前位置:首頁產(chǎn)品中心MDPFreiberg--MDPmapMDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試

MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試
產(chǎn)品簡介

MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線臺式檢測設備,主要被設計用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下(μ-PCD)。

產(chǎn)品型號:Freiberg--MDPmap
更新時間:2024-09-12
廠商性質:代理商
訪問量:2316
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?產(chǎn)品介紹

 --MDPmapMDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試是一個緊湊的離線臺式檢測設備,主要被設計用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下(μ-PCD)。

 --MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)自動化的樣品識別和參數(shù)設置可以使該儀器方便地適應各種不同的樣品,包括從生長的晶圓到高達95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優(yōu)點是其高度的靈活性,它允許集成多達4個激光器,用于從超低注入到高注入的與注入水平相關的壽命測量,或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。

 

 

?設備特點

 --靈敏度:對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的較高分辨率
 --測量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
 --壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾污檢測:源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)污染
 --測量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
 --靈活性:允許外部激光通過觸發(fā)器,與探測模塊耦合
 --可靠性: 模塊化和緊湊臺式儀器,更高可靠性,正常運行時間> 99%
 --重現(xiàn)性: > 99.5%
 --電阻率:無需時常校準的電阻率面掃描

 

 

?設備參數(shù)

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